Development of Through Silicon via contacts for front side electrodes in ISFET sensors


ERTEN A. C. , Park S., Briggs E., Martin D., Takeshita Y., Martz T., ...Daha Fazla

AVS 60th International Symposium and Exhibition, Amerika Birleşik Devletleri, 27 Ekim 2013

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri