Changes in materials properties of low k interlayer dielectiric polymers induced by exposure to plasma


Trabzon L., Awadelkarim O.

MICROELECTRONIC ENGINEERING, cilt.65, sa.4, ss.463-477, 2003 (SCI-Expanded)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 65 Sayı: 4
  • Basım Tarihi: 2003
  • Dergi Adı: MICROELECTRONIC ENGINEERING
  • Derginin Tarandığı İndeksler: Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED), Scopus
  • Sayfa Sayıları: ss.463-477
  • İstanbul Teknik Üniversitesi Adresli: Evet