Changes in materials properties of low k interlayer dielectiric polymers induced by exposure to plasma

---

Atıf İçin Kopyala

Trabzon L. , Awadelkarim O.

MICROELECTRONIC ENGINEERING, cilt.65, sa.4, ss.463-477, 2003 (SCI Expanded İndekslerine Giren Dergi)

• Cilt numarası: 65 Konu: 4
• Basım Tarihi: 2003
• Dergi Adı: MICROELECTRONIC ENGINEERING
• Sayfa Sayıları: ss.463-477