Changes in materials properties of low k interlayer dielectiric polymers induced by exposure to plasma


Trabzon L. , Awadelkarim O.

MICROELECTRONIC ENGINEERING, cilt.65, sa.4, ss.463-477, 2003 (SCI Expanded İndekslerine Giren Dergi)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 65 Konu: 4
  • Basım Tarihi: 2003
  • Dergi Adı: MICROELECTRONIC ENGINEERING
  • Sayfa Sayıları: ss.463-477