MEMS bimaterial IR sensor array with AC-coupled optical readout


Adiyan U., Civitci F., Ferhanoğlu O., Torun H., Urey H.

International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, OMN 2015, Jerusalem, İsrail, 2 - 05 Ağustos 2015 identifier

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Doi Numarası: 10.1109/omn.2015.7288834
  • Basıldığı Şehir: Jerusalem
  • Basıldığı Ülke: İsrail
  • İstanbul Teknik Üniversitesi Adresli: Evet