Structural and Optical Properties of Silicon Carbonitride Thin Films Deposited by Reactive DC Magnetron Sputtering

Özkan Zayim E., Ağırseven O., Tavşanoğlu T., Yücel O.

TMS 2012 Supplemental proceedings: Vol 1 Materials Processing and Interfaces, Orlando, Amerika Birleşik Devletleri, 11 - 15 Mart 2012, ss.421-427

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Orlando
  • Basıldığı Ülke: Amerika Birleşik Devletleri
  • Sayfa Sayıları: ss.421-427
  • İstanbul Teknik Üniversitesi Adresli: Evet