Damage to sub half micron metal oxide silicon field effect transistor from plasma processing of low k polymer interlayer dielectrics


Trabzon L., Awadelkarim O.

SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, cilt.0, 2000 (SCI-Expanded)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 0
  • Basım Tarihi: 2000
  • Dergi Adı: SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
  • Derginin Tarandığı İndeksler: Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED), Scopus
  • İstanbul Teknik Üniversitesi Adresli: Evet