Sequential Bayesian Decision Making for End Point Detection of Chemical Mechanical Planarization CMP Processes

BEYCA Ö. F.

INFORMS World Conference, San Diego, CA, 2009, 01 Ekim 2009

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • İstanbul Teknik Üniversitesi Adresli: Evet