ANISOTROPIC ETCHING OF SILICON WITH ULTRASONIC EFFECT

---

Atıf İçin Kopyala

KUNTMAN A.

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, cilt.11, sa.19, ss.1274-1275, 1992 (SCI İndekslerine Giren Dergi)

• Yayın Türü: Makale / Tam Makale
• Cilt numarası: 11 Konu: 19
• Basım Tarihi: 1992
• Doi Numarası: 10.1007/bf00742176
• Dergi Adı: JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS
• Sayfa Sayıları: ss.1274-1275